Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений потока излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещенности и энергетической экспозиции в диапазоне длин волн от 0,0004 до 0,4 мкм , ГЭТ 162-2022 (ФГУП "ВНИИОФИ")

Общие сведения

УТВЕРЖДЕНА приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от «2» августа 2022 г. № 1893 Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещенности и энергетической экспозиции в диапазоне длин волн от 0,0004 до 0,4 мкм

1. Область применения

1.1.Настоящая Государственная поверочная схема распространяется на средства измерений потока излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещенности и энергетической экспозиции в диапазоне длин волн от 0, 0004 до 0,4 мкм и устанавливает порядок передач и единиц потока излучения – ватта (Вт), энергетической освещенности – ватта на квадратный метр (Вт/м2), спектральной плотности энергетической освещенности – ватта на кубический метр (Вт/м3) и энергетической экспозиции – джоуля на квадратный метр (Дж/м2) в диапазоне длин волн от 0,0004 до 0,4 мкм от Государственного первичного эталона с помощью рабочих эталонов средствам измерений с указанием погрешностей, основных методов поверки и передачи единиц величин. Графическая часть Государственной поверочной схемы для средств измерений потока излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещенности и энергетической экспозиции в диапазоне длин волн от 0,0004 до 0,4 мкм представлена в приложении А.

2. Государственный первичный эталон

2.1.Государственный первичный эталон единиц потока излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещенности и энергетической экспозиции в диапазоне длин волн 0,0004 – 0,4 мкм (ГЭТ 162-2022) предназначен для хранения, воспроизведения и передачи единиц указанных величин рабочим эталонам в соответствии с настоящей государственной поверочной схемой.

2.2.Государственный первичный эталон единиц потока излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещенности и энергетической экспозиции включает: комплект ионизационных камер, криогенный неселективный радиометр, пропорциональный счетчик, оптико -акустический приемник и комплект приемников излучения на основе фотодиодов; комплект спектральных компараторов на основе монохроматоров нормального и скользящего падения; комплект дейтериевых, водородных, ртутных, ксеноновых газоразрядных ламп и плазменных излучателей.

2.3.Государственный перв ичный эталон обеспечивает в диапазоне длин волн 0,0004 – 0,4 мкм воспроизведение следующих единиц: потока излучения в диапазоне от 10−11 до 102 Вт с относительным среднеквадратическим отклонением результата измерений S0, не превышающим (0,2... 0,8)·10−2 при 10 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности Θ0, не превышающей (0,42... 1,4)·10−2, при стандартной неопределенности по типу А – (0,2... 0,8)·10−2 и при стандартной неопределенности по типу В – (0,3... 1,0)·10−2; энергетической освещенности в диапазоне от 10−8 до 103 Вт/м2 с относительным среднеквадратическим отклонением результата измерений S0, не превышающим (0,2... 1,1)·10−2 при 10 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности Θ0, не превышающей (0,42... 3,4)·10−2, при стандартной неопределенности по типу А – (0,2... 1,1)·10−2 и при стандартной неопределенности по типу В – (0,3... 4,2)·10−2; спектральной плотности энергетической освещенности в диапазоне от 103 до 1011 Вт/м3 с относительным среднеквадратическим отклонением результата измерений S0, не превышающим (0,2... 0,8)·10−2 при 10 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности Θ0, не превышающей (0,42... 1,4)·10−2, при стандартной неопределенности по типу А – (0,2... 0,8)·10−2 и при стандартной неопределенности по типу В – (0,3... 1,0)·10−2; энергетической экспозиции в диапазоне от 10−8 до 10−5 Дж/м2 с относительным среднеквадратическим отклонением результата измерений S0, не превышающим (0,2... 0,8)·10−2 при 10 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности Θ0, не превышающей (0,42... 1,4)·10−2, при стандартной неопределенности по типу А – (0,2... 0,8)·10−2 и при стандартной неопределенности по типу В – (0,3... 1,0)·10−2. Для единиц потока излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещенности и энергетической экспозиции: суммарная стандартная неопределенность составляет (0,3... 3,7)·10−2; расширенная неопределенность с коэффициентом охвата K, равным 2, составляет (0,6... 7,4)·10−2; Пространственное разрешение составляет 10 мкм, временное разрешение – 1 мкс.

2.4.Государственный первичный эталон применяют для передачи единиц потока излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещенности и энергетической экспозиции непрерывного УФ излучения в диапазоне длин волн от 0,0004 до 0,4 мкм рабочим эталонам сличением при помощи компаратора со среднеквадратич еским отклонением SεΣo, составляющим (0,2... 1,0)·10−2.

2.5.Государственный первичный эталон применяют для передачи единиц потока излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещенности и энергетической экспозиции импульсного УФ излучения в диапазоне длин волн от 0,0004 до 0,4 мкм рабочим эталонам сличением при помощи компаратора со среднеквадратическим отклонением SεΣo, составляющим 2,0·10−2.

3. Рабочие эталоны

3.1.В качестве рабочих эталонов потока излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещенности и энергетической экспозици и непрерывного излучения приме няют измерительные комплексы, включающие монохроматоры и интерференционные фильтры, источ ники УФ излучения – водородные, дейтериевые, ксеноновые и ртутные лампы, эталонные приемники излучения – кремниевые фотодиоды с окном из кварца и без окна, фотодиоды, фотоэлементы, каналь ные электронные умножители, спектрорадиометры, многоканальные и интегральные радиометры.

3.2.Диапазон значений потока непрерывного излучения составляет от 10−11 до 102 Вт, энергетической освещенности – от 10−8 до 103 Вт/м2, спектральной плотности энергетической освещенности – от 103 до 1011 Вт/м3, энергетической экспозиции – от 10−8 до 10−5 Дж/м2. Пространственное разрешение составляет 10 мкм.

3.3.Среднеквадратическое отклонение результатов сличений SΣo рабочих эталонов потока излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещенности и энергетической экспозиции непрерывного излучения с Государственным первичным эталоном составляет (0,6... 2,7)·10−2.

3.4.В качестве рабочих эталонов потока импульсного излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещенности и энергетической экспозиции импульсного излучения применяют измерительные комплексы, включающие монохроматоры и интерференционные фильтры, источники импульсного УФ излучения на основе капиллярного разряда с испаряющейся стенкой, плазменный фокус и газоразрядные лампы, эталонные приемники импульсного излучения – фотодиоды, вакуумные фотоэлементы, фотоэлектронные умножители, вторичные электронные умножители, фотосцинтилляторные преобразователи, многоканальные радиометры и дозиметры импульсного излучения.

3.5.Диапазон значений потока импульсного излучения составляет от 10−11 до 102 Вт, энергетической освещенности – от 10−7 до 103 Вт/м2, спектральной плотности энергетической освещенности – от 103 до 1011 Вт/м3, энергетической экспозиции – от 10−8 до 10−5 Дж/м2. Временное разрешение составляет 1 мкс.

3.6.Среднеквадратическое отклонение результатов сличений SΣo рабочих эталонов потока излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещенности и энерге тической экспозиции импульсного излучения с Государственным первичным эталоном составляет 4,2·10−2.

3.7.Рабочие эталоны потока излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещенности и энергетической экспозиции непрерывного и импульсного излучения применяют для передачи единиц средствам измерений сличением при помощи компаратора с допускаемым значением погрешности Δεo, составляющим (0,2... 1,0)·10−2.

4. Средства измерений

4.1.В качестве средств измерений потока излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещенности и энергетической экспозиции непрерывного и импульсного излучения применяют: приемники непрерывного и импульсного излучений: фотодиоды, фотоэлементы, фотоумножители, вторичные и канальные электронные умножители, фотосцинтилляторные преобразователи; многоканальные, интегральные радиометры и дозиметры; источники непрерывного и импульсного излучения – водородные, дейтериевые, ксеноновые и ртутные лампы.

4.2.Диапазон значений потока непрерывного излучения составляет от 10−11 до 102 Вт, энергетической освещенности – от 10−8 до 103 Вт/м2, спектральной плотности энергетической освещенности – от 103 до 1011 Вт/м3, энергетической экспозиции – от 10−8 до 10−5 Дж/м2. Пространственное разрешение составляет 10 мкм.

4.3.Диапазон значений потока импульсного излучения – от 10−11 до 102 Вт, энергетической освещенности – от 10−7 до 103 Вт/м2, спектральной плотности энергетической освещенности – от 103 до 1011 Вт/м3, энергетической экспозиции – от 10−8 до 10−5 Дж/м2. Временное разрешение составляет 1 мкс.

4.4.Предел допускаемых относительных погрешностей средств измерений потока непрерывного излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещен ности и энергетической экспозиции Δo не превышает (2... 10)·10−2.

4.5.Предел допускаемых относительных погрешностей средств измерений потока импульсного излучения, энергетической освещенности, спектральной плотности энергетической освещен ности и энергетической экспозиции Δo не превышает (8... 10)·10−2.