Р 50.2.014-2001
Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в дефектоскопии, полиграфии и фотолитографии. Методика поверки
- Тип документа
- Р
- Статус источника
- Отменен
- Дата введения
- 01.10.2002
- Последнее издание
- -
- Страниц
- 15
- ОКС
- 17.020;17.240
- КГС
- Т84
Область применения
Настоящие рекомендации распространяются на средства измерений характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения технологических источников - радиометры (спектрорадиометры) УФ излучения, основанные на использование фотодиодов, вакуумных фотоэлементов, других фотопреобразователей, область спектральной чувствительности которых ограничена диапазоном длин волн от 0,2 до 1,1 мкм.
Настоящие рекомендации устанавливают методику поверки радиометров (спектрорадиометров), используемых для измерения характеристик УФ излучения технологических источников
Ключевые слова
энергетическая освещенность;спектральная чувствительность;средства измерений;ультрафиолетовое излучение;радиометр;спектрорадиометр;технологический источник