ГОСТ Р 8.644-2008
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки
- Тип документа
- ГОСТ Р
- Статус источника
- Действует
- Дата введения
- 01.06.2009
- Последнее издание
- 26.03.2010
- Страниц
- 20
- ОКС
- 17.040.01
- КГС
- Т88
Область применения
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м.
Настоящий стандарт устанавливает методику калибровки рельефных мер
Ключевые слова
рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов;сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп;лазерный интерферометр;методика калибровки