ГОСТ Р 8.643-2008
Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн 10 - 30 нм. Методика поверки
- Тип документа
- ГОСТ Р
- Статус источника
- Действует
- Дата введения
- 01.02.2009
- Последнее издание
- 18.07.2008
- Страниц
- 8
- ОКС
- 17.020
- КГС
- Т84
Область применения
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения - ЭУФ-рефлектометры, используемые в диапазоне измеряемых значений коэффициентов зеркального и диффузного отражений от 0,01 до 0,7 в диапазоне длин волн 10 - 30 нм, и устанавливает методику их поверки
Ключевые слова
рефлектометр;коэффициент диффузного отражения;коэффициент зеркального отражения;средство измерений;вакуумное ультрафиолетовое излучение;экстремальный ультрафиолет