ГОСТ Р 8.640-2008
Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
- Тип документа
- ГОСТ Р
- Статус источника
- Действует
- Дата введения
- 01.01.2009
- Последнее издание
- 15.05.2008
- Страниц
- 15
- ОКС
- 17.020
- КГС
- Т84
Область применения
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
Ключевые слова
энергетическая освещенность;спектральная чувствительность;средства измерений;ультрафиолетовое излучение;радиометр;фотолитография