ГОСТ Р 8.636-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки
- Тип документа
- ГОСТ Р
- Статус источника
- Действует
- Дата введения
- 01.08.2008
- Последнее издание
- 16.01.2008
- Страниц
- 11
- ОКС
- 17.040.01
- КГС
- Т88
Область применения
Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629
Ключевые слова
длина;рельефные меры нанометрового диапазона;растровые электронные микроскопы;методика калибровки