ГОСТ Р 8.635-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки
- Тип документа
- ГОСТ Р
- Статус источника
- Действует
- Дата введения
- 01.08.2008
- Последнее издание
- 16.01.2008
- Страниц
- 11
- ОКС
- 17.040.01
- КГС
- Т88
Область применения
Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629
Ключевые слова
длина;рельефные меры нанометрового диапазона;сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы;методика калибровки