ГОСТ Р 8.631-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки
- Тип документа
- ГОСТ Р
- Статус источника
- Действует
- Дата введения
- 01.02.2008
- Последнее издание
- 10.02.2011
- Страниц
- 15
- ОКС
- 17.040.01
- КГС
- Т88
Область применения
Настоящий стандарт распространяется на измерительные растровые электронные микроскопы (РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
Межповерочный интервал РЭМ - 6 мес.
Ключевые слова
длина;рельефные меры нанометрового диапазона;растровые электронные измерительные микроскопы;методика поверки