ГОСТ Р 8.630-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки
- Тип документа
- ГОСТ Р
- Статус источника
- Действует
- Дата введения
- 01.02.2008
- Последнее издание
- 08.02.2011
- Страниц
- 15
- ОКС
- 17.040.01
- КГС
- Т88
Область применения
Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
Межповерочный интервал микроскопа - один год
Ключевые слова
длина;рельефные меры нанометрового диапазона;сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы;методика поверки