ГОСТ Р 8.629-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
- Тип документа
- ГОСТ Р
- Статус источника
- Действует
- Дата введения
- 01.02.2008
- Последнее издание
- 08.02.2011
- Страниц
- 21
- ОКС
- 17.040.01
- КГС
- Т88
Область применения
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют при измерении линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м.
Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер.
Межповерочный интервал рельефной меры - один год
Ключевые слова
рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов;сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп;лазерный интерферометр;методика поверки