ГОСТ Р 8.627-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений
- Тип документа
- ГОСТ Р
- Статус источника
- Действует
- Дата введения
- 01.07.2007
- Последнее издание
- 24.04.2007
- Страниц
- 8
- ОКС
- 17.020
- КГС
- Т84
Область применения
Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике
Ключевые слова
рефлектометр;коэффициент диффузного отражения;коэффициент зеркального отражения;средство измерений;вакуумное ультрафиолетовое излучение