ГОСТ 8.594-2009
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки
- Тип документа
- ГОСТ
- Статус источника
- Действует
- Дата введения
- 01.11.2010
- Последнее издание
- 09.12.2019
- Страниц
- 12
- ОКС
- 17.040.01
- КГС
- Т88
Область применения
Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592
Ключевые слова
длина;рельефные меры нанометрового диапазона;растровые электронные микроскопы;методика поверки