ГОСТ 8.591-2009
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
- Тип документа
- ГОСТ
- Статус источника
- Действует
- Дата введения
- 01.11.2010
- Последнее издание
- 05.12.2019
- Страниц
- 16
- ОКС
- 17.040.01
- КГС
- Т88
Область применения
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ 8.592. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м.
Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер
Ключевые слова
рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов;сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп;лазерный интерферометр;методика поверки