Полная запись

Полная запись Аршина

Состав эталона

Государственный первичный специальный эталон состоит из комплекса следующих технических средств и вспомогательных устройств:
- цифрового спектрального эллипсометра alpha-SE;
- цифрового спектрального многоуглового эллипсометра SENresearch 4,0, модель SER 850-FTIR;
- мер комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий в виде подложек плоской или цилиндрической формы из различных материалов с однослойными или двухслойными покрытиями разной номинальной толщины из разных материалов, а также массивные заготовки из различных материалов – как материальных носителей единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий;
- термогигрометра ИВА-6 для измерений температуры, атмосферного давления и влажности воздуха в зоне измерений;
- системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.

Область применения

Измерения комплексного показателя преломления N=
-ik и, соответственно, оптических постоянных n и k тонкопленочных структур, представляющих собой комбинации тонких металлических, диэлектрических и полупроводниковых слоев (пленок) на поверхности полупроводникового кристалла или изолятора. Бесконтактные измерения толщины d оптических покрытий в широком диапазоне от нанометров до десятков микрометров на цифровом спектральном многоугловом эллипсометре SENresearch 4,0, обладающем сканирующим Фурье-спектрометром в ИК диапазоне длин волн (FTIR-приставка). Контроль технологических параметров (толщина, композиция состава, величина шероховатости) в полупроводниковой микро- и наноэлектронике, в рентгеновской оптике, оптике интерференционных покрытий, включающих слои диэлектриков, полупроводников и металлов. Комплексный показатель преломления необходимо измерять и учитывать при интерференционных измерениях высоты рельефа и/или толщины в нанометровом диапазоне.
Основные области применения – микроэлектроника, физика твердого тела, физика поверхности, материаловедение, технология оптических покрытий, химия полимеров и электрохимия, биология, медицина.

Сервисные категории

Нет

Межаттестационный интервал

5 лет

Документы

Приказ

Приказ Росстандарта № 294 от 05,02,2024

Поверочная схема

ГПС введенная ГОСТ 8,645 - 2014 пересматривается. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений комплексного показателя преломления.

Техническая документация

- Паспорт эталона
- Правила содержания и применения эталона
- Приказ об утверждении эталона
- Доклад Росстандарту
- Техническая, конструкторская и эксплуатационная документация
- Государственная поверочная схема

Публикации

Нет

Куратор и международные сведения

Куратор

Самойленко Алексей Андреевич, к. ф.-м. н.

Email

asamoylenko@vniiofi.ru

Телефон

(495) 781 45 76

Сравнения CIPM

Нет

Следующие сравнения

Нет

Публикации CIPM

Нет