Полная запись

Полная запись Аршина

Состав эталона

Государственный первичный эталон состоит из двух эталонных установок.
Первая эталонная установка предназначена для воспроизведения, хранения и передачи единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси. В состав первой эталонной установки входят:
- спектральный эллипсометр alpha-SE;
- эталонные меры эллипсометрических углов Дельта и Пси в виде эллипсометрических пластинок – кремниевых пластинок с пленкой из двуокиси кремния различной толщины: 1000 A, 2000 A, 3000 A;
-эталонные меры эллипсометрического угла Дельта в виде четверть -и полуволновых фазовых пластинок нулевого порядка для контроля стабильности эталона: ThorLabs WPQ10M-633, MELLES GRIOT PWPS-633 - 10⁻², PWPS-633 - 10⁻⁴;
- цифровая метеостанция для измерения параметров окружающей среды «Метеоскоп»;
- система сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.
Вторая эталонная установка предназначена для воспроизведения, хранения и передачи единиц пространственного распределения эллипсометрических углов Дельта и Пси в декартовой системе координат (x,y). В состав второй эталонной установки входят:
- спектральный эллипсометрический комплекс «Эллипс-1991» с двухкоординатной системой позиционирования эталонной меры пространственного распределения эллипсометрических углов Дельта и Пси;
- эталонная мера пространственного распределения эллипсометрических углов Дельта и Пси в виде эллипсометрической пластинки в специальном ложементе с координатной привязкой;
- интерференционный профилометр для измерения формы поверхности меры пространственного распределения эллипсометрических углов Дельта и Пси в виде эллипсометрической пластинки в специальном ложементе с координатной привязкой;
-система лазерная измерительная XL-80 для калибровки двухкоординатной системы позиционирования;
-микроинтерферометр Линника МИИ-4М для получения изображений микрогеометрии поверхности эллипсометрических пластинок;
- цифровая метеостанция для измерения параметров окружающей среды «Метеоскоп»;
- системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ

Область применения

Эллипсометрия широко используется для исследования физико-химических свойств поверхности, ее морфологии, для измерения толщин многослойных структур и характеризации оптических свойств тонких пленок. Области применения – микроэлектроника, физика твердого тела, физика поверхности, материаловедение, технология оптических покрытий, химия полимеров и электрохимия, биология, медицина.

Межаттестационный интервал

5 лет

Документы

Приказ

Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 28 декабря 2017 г. № 2992

Поверочная схема

Приказ 2221 от 22,10,2018. Государственная поверочная схема для средств измерения эллипсометрических углов

Техническая документация

- Паспорт эталона
- Правила содержания и применения эталона
- Приказ об утверждении эталона
- Доклад Росстандарту
- Техническая, конструкторская и эксплуатационная документация
- Государственная поверочная схема

Публикации

Вишняков Г.Н., Левин Г.Г., Ломакин А.Г. Измерение разности фаз при линейном двулучепреломлении в дифференциальном фазовом поляриметре с вращающимся анализатором // Оптический журнал, №9, 2011, с. 76 - 81.
Вишняков Г.Н., Левин Г.Г., Ломакин А.Г. Измерение разности фаз двулучепреломляющего материала на фазовом поляриметре с вращающимся анализатором // Измерительная техника, №6, 2011, с. 3 - 7.

Куратор и международные сведения

Куратор

Минаев Владимир Леонидович

Email

minaev@vniiofi.ru

Телефон

(495) 437 - 29 - 01

Сравнения CIPM

Сличения не проводились

Следующие сравнения

-

Публикации CIPM

–